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牛津仪器新版AZtecEBSD软件介绍-1 —— 采集之更新

发布日期:2021-11-24 00:00

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一. 前言

牛津仪器一直以来致力于微观分析技术的发展和进步,不断研发升级,为用户提供功能更强大,使用更方便的软硬件系统。作为一款集成EDS、EBSD和WDS的软件,AZtec于2021年6月发布5.1版本。相比前一代5.0版本,虽然只是个小版本号的升级,但是针对EBSD的采集及数据后处理,均有不少改进和功能更新。


EBSD采集部分的更新有:

  • 专门的TKD分布图导航工具栏,使得 TKD分析更易操作、更高效

  • 花样动态阴影掩模(TKD、3D EBSD、断口和不平样品分析时会用到)

EBSD数据后处理部分的更新有:

  • 母相晶粒分析

  • SEM图像查看器

  • 畸变、漂移矫正

  • 晶粒参数相关性分析

  • 用户管理的库

  • 更多细节改进

我们将通过两篇文章分别为大家介绍采集与数据后处理新增的功能,本文主要介绍第一部分:采集之更新

二. 专门的TKD分布图导航工具栏

和常规的EBSD分布图导航工具栏一样,TKD分布图导航工具栏依序分为6个步骤:

  1. 样品描述

  2. 扫描图像

  3. 优化花样

  4. 优化解析器

  5. 采集分布图数据

  6. 构建分布图数据

TKD分布图导航工具栏

1.  样品描述


在样品描述中,增加了常见的TKD预倾台模型,以帮助用户选择正确的预倾台预倾角度,包括:-90度,-45度,-20度和0度。其中-20度或0度是常见的TKD预倾台角度。样品总的倾转角度为预倾台预倾角度加上电镜样品台的倾转角度,如果为负角度数,也不再显示提示信息。
如果对样品参考取向有要求,那么在新的样品描述页中,样品的放置方向(CS0)和采集参考坐标系(CS1)之间的关系更容易选取,设置合适的RD-TD-ND对应关系即可。

TKD样品几何条件设置界面

2.  扫描图像


AZtec除了可以采集电镜中获取的二次电子(SE)和背散射电子(BSE)图像,还可以采集来自于EBSD探测器前端选配安装的前散射探测器(FSD)图像。常规的FSD图像根据FSD的位置,可以获得原子序数衬度图(上部FSD)和取向衬度图(下部FSD)。通过下部FSD通道叠加颜色,还可以得到彩色的FSD图像。对于TKD样品来讲,下部FSD采集的图像其实也是一种暗场像(Darkfield, DF)。它提供了样品的厚度、晶体取向、和原子序数的衬度。如果将下部FSD采集的图像信号相减,那么就能获取到取向暗场像(Oriented Darkfield,ODF),能揭示更明锐的晶体取向信息。

利用FSD探测器采集的暗场像(DF)和取向暗场像(ODF)

3.  优化花样


TKD花样由于样品的原因,局部偶尔会有遮挡,形成阴影,其边缘会干扰衍射带的检测,影响最终的标定。同样的问题也可能发生在3D EBSD、断口和不平样品表面的数据采集。在AZtec5.1中,除了常规的静态背底和动态背底,增加了动态阴影掩模扣除背底的选项,能有效排除掉阴影对于衍射带检测的干扰。

有阴影遮挡的花样

衍射带检测在阴影边缘,而非衍射带上,无法正确标定

用动态阴影掩模扣除背底后,更准确地检测到衍射带,顺利标定

4.  采集分布图数据

AZtec5.1新增加了多边形工具,来设置采集区域,这样能帮助定义不规则的TKD采集区域。定义了多边形以后,需要点击开始采集按钮才会开始采集,而不像之前的设置,直接就开始采集了。这样的设置尤其适合电解抛光的穿孔样品、FIB提取的样品不规则采集区域、APT样品等。

定义多边形采集区域,可以快速预览TKD样品的整个薄区,方便选取感兴趣

以上为AZtec 5.1数据采集软件更新的主要内容,带来了更便利的TKD数据采集更准确的标定下一期我们会主要关注EBSD数据后处理的新功能介绍


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